...hot filament chemical vapor deposition (HFCVD); diamond films; WC−Co substrates; deposition parameters [gap=25582]关键词:热丝化学气相沉积;金刚石薄膜;WC−Co硬质合金基体;沉积参数 ..
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...导体性质的研究 本论文简要叙述了金刚石薄膜的研制进展和应用,介绍了用化学气相沉积法(Hot Filament Chemical Vapor Deposition)在不同的衬底上的金刚石薄膜的制备方法和形核,并对Si、Ni、Cu三种不同的衬底的金刚石膜研究了如何增大形核密度、提高形核质量。
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首先,对实验中所用到的热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition, HFCVD)设备进行了改造与设计。其次,以β-SiC和β-Si3N4晶体结构为基础,建立SiCN的基本模型。
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首先,对实验中所用到的热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition, HFCVD)设备进行了改造与设计。其次,以β-SiC和β-Si3N4晶体结构为基础,建立SiCN的基本模型。
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The main work had been done as following:1) Diamond thick films were deposited using Hot Filament Chemical Vapor Deposition (HFCVD) with multiple continuous deposition.
所作的的工作如下:1)利用热丝化学气相沉积方法,分次连续的沉积了优质金刚石厚膜,其厚度可达200μm以上。
参考来源 - 自支撑优质金刚石膜制备及红外透射特性研究·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
Carbon nanotubes in experiments were synthesized by hot filament chemical vapor deposition.
所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法合成的。
The carbon nanotubes used in this study were synthesized by hot filament chemical vapor deposition.
本文利用弯曲法研究了碳纳米管膜的压阻效应。
In this dissertation, extensive researches on the electrical and field emission properties of nano-carbon films prepared by hot filament chemical vapor deposition (HFCVD).
本文利用热灯丝化学气相沉积法(HFCVD)制备了纳米量级的碳薄膜材料,对它的电学性质及场发射性质进行了详细的研究。
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